Os principais equipamentos da Usina, tais como caldeiras e turbo-geradores, foram fabricados no Japão pela Mitsubishi Heavy Industries, em 1961. A unidade 1 entrou em operação em 20.12.1968 e a unidade 2, em 11.03.1971.

Devido ao alto custo do petróleo, o gerador 1 foi convertido em Compensador Síncrono entrando em operação comercial em abril de 1981. Em novembro de 1996, iniciaram-se os trabalhos de desconversão do Compensador Síncrono para Gerador, pois estudos elétricos realizados pelo Departamento de Estudos Elétricos não indicaram a necessidade da Unidade 1 operar como Compensador Síncrono.

Dada a situação energética prevista para o ano de 1997 e o comprometimento contratual de FURNAS com o sistema, para disponibilizar a geração de 20 MW médios de energia garantidos pela Usina, o Departamento de Comercialização de Energia Elétrica e Planejamento de Operação recomendou que as duas Unidades Geradoras fossem mantidas disponíveis como geradores convencionais.

A partir da decisão da Petrobrás de instalar um gasoduto até a cidade de Campos, FURNAS, diante da disponibilidade de gás, decidiu pela adaptação das caldeiras da Usina para queima de gás natural, já que uma das vantagens que tal conversão traria seria a de atender exigência feita pela Fundação Estadual de Engenharia de Meio Ambiente para a concessão da Licença de Operação definitiva da Usina.

Atualmente, a Usina de Campos está passando por um processo de modernização de suas instalações, tendo adquirido sistemas de controle digitais e informatizando suas caldeiras para queima de gás natural.

A Usina possui, ainda, uma Subestação com um barramento de 69 kV e outro de 138 kV. Além de sua geração própria, a Usina recebe energia da Subestação de Campos e a envia para a cidade de Campos e circunvizinhas através de quatro circuitos de 69 kV e quatro circuitos de 138 kV.